純化技術
區(qū)熔法:一種通過熔化和重新結晶來純化材料的方法,可有效去除銦中的雜質,提高其純度。
電解精煉:利用電化學反應將銦從雜質中分離出來。將銦材料作為陽極,置于電解液中,通過施加電流使銦離子在陰極上沉積,從而得到高純度的銦。
化學純化:利用化學反應去除銦中的雜質,例如通過溶劑萃取和化學沉淀等方法,可有效分離和去除雜質,提高銦的純度。
先進封裝技術
應用:在芯片倒裝焊(Flip Chip)中作為焊料或熱界面材料,實現(xiàn)芯片與基板的電氣連接和熱傳導。
特點:低熔點(156.6℃)和高可靠性,適用于精密電子器件的低溫封裝。
銦靶是現(xiàn)代電子信息、新能源、高端制造等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的底層關鍵材料,其應用深度和廣度直接反映一個國家在半導體、顯示、光伏等領域的技術水平。由于全球銦資源稀缺(主要伴生于鋅礦),且提純工藝復雜,銦靶的供應鏈已成為各國關注的重點。未來,隨著 5G、AI、新能源汽車等產(chǎn)業(yè)的爆發(fā),銦靶的需求將持續(xù)增長,同時推動高純銦(99.999% 以上)制備技術的不斷突破。
濺射氣體控制
氣體純度:使用高純氬氣(99.999% 以上),避免氧氣、水汽混入導致銦靶氧化(氧化銦導電性下降,易形成電弧放電)。
氣壓調節(jié):
直流濺射(DC):氣壓通常為 0.1~10 Pa,低氣壓下濺射速率高但薄膜致密度低;高氣壓下薄膜均勻性好但沉積速率慢。
射頻濺射(RF):適用于絕緣基底,氣壓可略高于直流濺射,需根據(jù)薄膜厚度要求動態(tài)調整。