光學(xué)領(lǐng)域:用于制造反射率與銀鏡一樣高但不會(huì)褪色的鏡,還可用于制造其他光學(xué)器件,如濾光片、光通信器件等。
其他領(lǐng)域:可用于制造低熔點(diǎn)合金,如 24%銦和 76%鎵的合金在室溫下為液態(tài),此外,還可用于制造整流器、熱敏電阻和光電導(dǎo)體等電氣組件。
真空系統(tǒng)維護(hù)
腔體清潔:每次濺射后及時(shí)清理腔體內(nèi)壁及基片臺(tái)的銦沉積層(銦延展性強(qiáng),易粘附在腔體表面,長期積累可能導(dǎo)致短路或影響真空度)。
可用棉簽蘸取乙醇擦拭,或用軟質(zhì)刮刀輕輕刮除(避免損傷腔體涂層)。
真空泵保養(yǎng):定期更換真空泵油(因銦蒸氣可能污染泵油,建議每 200 小時(shí)檢查一次),防止油液粘度升高影響抽氣效率。
靶材回收與再利用
回收價(jià)值:報(bào)廢銦靶(含濺射過程中產(chǎn)生的碎屑、廢膜)可通過化學(xué)溶解(如鹽酸溶解)、電解精煉等工藝回收銦金屬(回收率可達(dá) 95% 以上),降低生產(chǎn)成本。
環(huán)保要求:回收過程中產(chǎn)生的廢水需處理至重金屬排放標(biāo)準(zhǔn)(如銦離子濃度≤0.1 mg/L),避免環(huán)境污染。
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