航空航天與國(guó)防科技
1. 紅外探測(cè)與成像
用途:在紅外焦平面陣列(IRFPA)中作為芯片互連材料(如銦柱倒裝焊),實(shí)現(xiàn)探測(cè)器芯片與讀出電路的高密度連接。
場(chǎng)景:軍用夜視儀、衛(wèi)星遙感設(shè)備、熱成像儀等。
2. 高溫真空器件
應(yīng)用:在航空航天用真空電子器件(如行波管、磁控管)中作為密封材料或電極鍍膜,利用銦的低蒸氣壓和抗腐蝕特性。
精密制造與特殊材料領(lǐng)域
1. 高端軸承與涂層
用途:在航空發(fā)動(dòng)機(jī)、精密機(jī)床的軸承表面濺射銦涂層,降低摩擦系數(shù),提高潤(rùn)滑性能和抗磨損能力。
場(chǎng)景:飛機(jī)渦輪軸承、光刻機(jī)精密運(yùn)動(dòng)部件等。
2. 低熔點(diǎn)合金與焊料
成分:銦與錫、鉛、鎵等金屬組成的共晶合金(如 In-Sn 合金,熔點(diǎn)約 118℃)。
應(yīng)用:用于電子元件的低溫焊接、熱敏感器件的封裝,以及核工業(yè)中的熔斷保護(hù)裝置。
濺射時(shí)間與沉積厚度
厚度監(jiān)控:使用石英晶體微天平(QCM)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)薄膜沉積速率,結(jié)合靶材消耗速率(約 0.1~0.5 μm/min,與功率相關(guān)),控制濺射時(shí)間。
靶材利用率:避免過度濺射導(dǎo)致靶材 “打穿”(剩余厚度<2 mm 時(shí)需及時(shí)更換),通常平面靶材利用率約 30%~40%,旋轉(zhuǎn)靶可提升至 60% 以上。
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