光伏領(lǐng)域:在薄膜太陽能電池中,銦靶材可作為光吸收層形成用的濺射靶,如 Cu-In-Ga-Se 系(CIGS 系)薄膜太陽能電池,有助于提高太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率。
薄膜太陽能電池
主流技術(shù):用于銅銦鎵硒(CIGS)薄膜太陽能電池的濺射鍍膜,作為光吸收層(In-Ga-Se 合金)的核心材料。
優(yōu)勢:CIGS 電池的光電轉(zhuǎn)換效率超過 23%,銦靶的純度直接影響電池的開路電壓和填充因子。
科研與前沿技術(shù)
1. 量子計算與超導器件
探索應用:銦薄膜作為超導材料(如 In-Nb 合金),用于量子比特器件的制備,利用其超導電性實現(xiàn)低損耗量子信號傳輸。
2. 柔性電子與可穿戴設(shè)備
技術(shù)方向:在柔性電路板(FPC)、電子皮膚中作為可拉伸導電薄膜,利用銦的高延展性滿足器件形變需求。
功率與溫度管理
濺射功率:
銦的濺射閾值較低(約 10 eV),起始功率不宜過高(建議從 50 W 逐步遞增),避免瞬間過熱導致靶材熔融或飛濺(銦熔點僅 156.6℃,過熱易造成靶材局部熔化,形成 “熔坑” 影響均勻性)。
直流濺射功率密度通常為 1~5 W/cm2,射頻濺射可適當提高至 5~10 W/cm2。
靶材冷卻:
采用水冷靶架(水溫控制在 15~25℃),確保濺射過程中靶材溫度低于 80℃(高溫會導致銦原子擴散加劇,影響薄膜結(jié)晶質(zhì)量)。
定期檢查冷卻水路是否通暢,避免因散熱不良導致靶材變形或脫靶。