無塵車間即凈化車間，亦稱為無塵室或潔凈室。它是污染控制的基礎。沒有潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在 FED-STD-2里面，潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。

無塵車間內(nèi)部氣流速度，要根據(jù)無塵車間的用途來定，不僅受內(nèi)部發(fā)塵量，還受到其他因素影響，就無塵車間工程而言，氣流速度的因素主要包括以下一些：

(1)室內(nèi)污染源：建筑物組件、人員數(shù)量及操作活動、工藝設備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源，根據(jù)具體情況而異，變化很大。

(2)室內(nèi)氣流流型及分布：單向流要求均勻、平等的流線，但會受到工藝設備布置和位置變動及人員活動情況等的干擾形成局部渦流，而非單向流要求充混合，避免死角及溫度分層。

(3)自凈時間的控制要求：無塵車間中事故釋放或帶入污染物或空氣氣流的中斷或正常操作時的間歇性對流氣流或人及設備的移動等都會造成潔凈度的惡化，恢復到原來潔凈度的自凈時間決定于氣流速度，對自凈時間的控制要求取決于此時間框架內(nèi)，對產(chǎn)品生產(chǎn)的質(zhì)量及成品率影響的承受能力。

(4)末級過濾器的效率：在一定的室內(nèi)發(fā)塵量下，可采用較率的過濾器以降低氣流速度。為節(jié)能應考慮采用較率的過濾器，并降低氣流速度，或采用較低效率的過濾器并采用較高的氣流速度，以求流量與阻力的乘積小。

(5)經(jīng)濟性考慮：過大的氣流速度造成投資及運行費用的增加，合適的氣流速度為以上諸因素合理的綜合，過大往往不必要，亦不一定有效果。

(6)對潔凈度要求低的無塵車間，有時換氣次數(shù)決定于室內(nèi)排熱的要求。

下面就細說一下無塵車間可以分為哪些級別：

1級。這個級別的無塵車間主要用于制造集成電路的微電子工業(yè)，對集成電路的要求為亞微米。

10級。這個級別的無塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導體工業(yè)。

100級。很多人認為，這一級無塵車間是常用因而是重要的無塵車間，人們常常錯誤地將100級潔凈室稱為無菌室，以說明“無菌”的或“無塵”的環(huán)境要求，100級無塵室可用于醫(yī)藥工業(yè)的無菌制造工藝等，這一潔凈室大量應用于，植如體內(nèi)物品的制造，外科手術，包括移植手術，集成器的制造。

1000級。這個級別的無塵車間主要用于高質(zhì)量光學產(chǎn)品的生產(chǎn)，還用于測試，裝配飛機蛇螺儀，裝配高質(zhì)微型軸承等。

10000級。萬級無塵車間用于液壓設備或氣壓設備的裝配，某些情況下也用于食品飲料工業(yè)，此外，萬級無塵車間在醫(yī)工業(yè)中也很常用。

100000級。十萬級無塵車間用于很多的工業(yè)部門，比如光學產(chǎn)品的制造，用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng)，液壓或氣壓系統(tǒng)的制造，食品飲料的生產(chǎn)，醫(yī)、藥工業(yè)也常常使用這一級無塵車間。