車間的空氣是靠進(jìn)風(fēng)系統(tǒng)將氣流活塞般的擠壓進(jìn)入。千級(jí)無塵實(shí)驗(yàn)室氣流通過初效過濾器，然后再經(jīng)中效過濾器，然后經(jīng)過或超過濾器，將潔凈空氣傳入車間內(nèi)，使空氣塵粒迅速達(dá)到相應(yīng)相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)要求，并且把車間內(nèi)污染排出。為考慮節(jié)能，排出的污染空氣經(jīng)過回風(fēng)后，再經(jīng)過或超過濾器傳入車間。

眾所周知根據(jù)要求在車間內(nèi)部的工作人員都需要穿戴潔凈服。對(duì)于穿上潔凈服工作的人員而言室內(nèi)溫度要在二十三攝氏度左右才適宜工作。如果工作人員穿戴的潔凈服其要求比較嚴(yán)格的話，千級(jí)無塵實(shí)驗(yàn)室的溫度就要比二十三攝氏度更低。車間內(nèi)部的濕度會(huì)根據(jù)不同的季節(jié)而變化，然而夏季車間的相對(duì)濕度會(huì)比較低，而冬季車間的相對(duì)濕度會(huì)比較高。當(dāng)前的微電子加工工廠對(duì)車間的溫濕度的參數(shù)要求都很高。