電子無塵車間凈化工程一個主要方面是對靜電的控制：高濕度實際上減小了電子無塵車間、潔凈室表面的靜電荷積累。較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。

在電子行業(yè)電子無塵車間是重要產(chǎn)生靜電的地方，通常靜電會對產(chǎn)品造成短路甚至會造成員工導電暈倒事故，所以電子無塵車間相對濕度不應低于30%，這樣即可以減少靜電的產(chǎn)生，通常建議電子無塵車間的防靜電區(qū)域相對濕度不低于50%。過于干燥的空氣中易粉塵飛揚，電子無塵車間無特殊要求的情況下，溫度控制在22℃左右，相對濕度控制在55～60%RH之間，在這種環(huán)境下，人們感覺舒適，靜電也消失了。