無(wú)塵室工程也成無(wú)塵室或清凈室。能夠控制污染物得滋生。沒有無(wú)塵室工程,就不會(huì)有污染敏感零件的量產(chǎn)以及出庫(kù)。在FED-STD-2里面,無(wú)塵室工程具有空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化的功能,有一種特別的操作程序是能夠抑制空氣懸浮顆粒濃度。
無(wú)塵室的構(gòu)造是由天花板系統(tǒng)、空調(diào)系統(tǒng)、隔墻板、地板、照亮工具,另外無(wú)塵室一般都是用鋼筋或者骨水泥作為重要的構(gòu)造,不過(guò)不管是什么構(gòu)造都必須滿足以下這幾點(diǎn)條件:不會(huì)因?yàn)闇囟鹊淖兓l(fā)生裂痕、不會(huì)有產(chǎn)生微塵粒子的環(huán)境而且不易有粒子在上面、吸水性能小、能夠保持室內(nèi)的濕度條件,熱絕緣型一定要高。根據(jù)美國(guó)的標(biāo)準(zhǔn)將無(wú)塵室分為六級(jí),分別是1級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí)。
無(wú)塵室主要掌管的項(xiàng)目有能夠出去飄在空氣中的無(wú)塵室塵粒子,防止微塵粒子之間產(chǎn)生化學(xué)效應(yīng),能夠掌控?zé)o塵室中的溫度和濕度,可以將有害氣體排出室外,調(diào)節(jié)壓力的大小,在室內(nèi)照明的亮度可以調(diào)節(jié),能夠在節(jié)約這方面做到省電,防止了電磁波的干擾,能夠控制浮游菌和沉降菌,也做到了與空氣之間的隔絕。