以Elmo大功率伺服驅動器Platinum系列為例，該系列在速度、伺服性能、帶寬、精度和控制能力上，相對于Elmo明星產品Gold系列都做了大幅升級，可以更好地滿足晶圓傳輸對運動控制的嚴苛要求。

小身材大能量滿足微縮工藝

以Elmo Platinum Twitter驅動器為例，小尺寸為35 x 30 mm，僅有一個火柴盒的大小，完全滿足半導體制作工序持續(xù)微縮的需求，同時可提供5600W的連續(xù)功率，確保晶圓在傳輸過程中可靠。

納米級運動控制實現定位

采用高分辨率編碼器和先進電流環(huán)控制技術，搭配Platinum Maestro先進的雙核運動控制技術，實現納米級精度的運動控制。

多軸協(xié)同控制提升傳輸效率

支持EtherCAT總線通訊，循環(huán)時間可達100 us，高協(xié)同性，可忽略的抖動和近乎零延遲。

抖動抑制技術保證脆性材料穩(wěn)定傳輸

通過諧波補償算法，將靜止位置波動控制在極其微小的范圍以內，確保晶圓在傳輸時的穩(wěn)定性。

監(jiān)測和分析伺服驅動器的各項特點和功能

通過EASII軟件編寫程序，維護和分析運動過程，EASII還可以配置程序，輕松實現運動控制配置、驅動調整、參數記錄等。

目前，Elmo開發(fā)了一代基于氮化鎵功率開關技術的Titanium系列，該系列驅動器的開關應用材料做了全新升級，相對于傳統(tǒng)的開關控制器，在開關頻率和輸出的功率上得到了進一步的提升，在盡可能節(jié)省空間的情況下，能夠進一步提升運動控制的效率，節(jié)約成本，相信隨著Titanium系列的上市及更多實際應用，未來將重塑半導體制造新驅動。

Titanium系列伺服驅動器

Titanium系列是Elmo新一代產品，目前伺服驅動器Titanium Solo Castanet和Titanium Harmonica 2 Axes均已上市。

Titanium Castanet是基于氮化鎵功率開關技術的下一代雙軸功能伺服驅動器，適用于低直流電壓應用。該解決方案在100伏電壓下可達15安培，連續(xù)功率為2.4千瓦。

Titanium Harmonica具有功能齊全的運動控制器和本地智能。該解決方案在200伏電壓下可達10安培，每軸連續(xù)功率為5.6千瓦。

機器人和半導體行業(yè)的運動控制通常意味著對伺服驅動系統(tǒng)的要求，Elmo伺服驅動器以顯著優(yōu)勢已經應用于機器人和半導體生產過程的多個環(huán)節(jié)，為客戶提供高性能的運動控制解決方案，并獲得了廣大用戶的好評。

現在Titanium Castanet基于氮化鎵功率開關技術的下一代雙軸功能伺服驅動器已經可以訂貨，型號示例：TCAS-HO2-15/100CEV。