免費(fèi)店鋪在線升級
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中國科學(xué)院微電子研究所射頻電源(RFGenerator)課題組()從1984年開始研發(fā)電子管射頻電源(13.56MHz)，1985年研制成功，獲得“六五”攻關(guān)榮譽(yù)證書以及“FD-2反應(yīng)離子刻蝕機(jī)與超精細(xì)刻蝕研究”項(xiàng)目二等獎(jiǎng)。
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